中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术全国重点实验室在集成角度传感器的高性能MEMS快反镜研制方面取得重要进展。制备的MEMS快反镜镜面尺寸大，封装体积小，并具备良好的线性度、角分辨率、响应速度、重复定位精度和镜面动态形变，同时集成了高灵敏度角度传感器，能够实现更精确的激光光束闭环控制，在激光卫星通信方面具有巨大的应用潜力。近日，相关成果以“A high-performance 10 mm diameter MEMS fast steering mirror with integrated piezoresistive angle sensors for laser inter-sa

　　中新网北京9月15日电 (记者 孙自法)中国科学院空天信息创新研究院(空天院)自主研制成功的500毫米口径激光通信地面系统，9月15日在新疆帕米尔高原慕士塔格峰区域一处海拔4800米山顶完成部署，标志着中国首个业务化运行的星地激光通信地面站正式建成，并进入常态化运行阶段。 中国首个业务化运行的激光通信地面站，在新疆帕米尔高原一处海拔4800米山顶建成，远处雪山为慕士塔格峰。中新网记者 孙自法 摄 　　该地面站的建成打通了星地激光通信全链条业务流程，将进一步推进星地激光通信的工程化应用，改变中国目前卫星数据接收仅靠微波地面站的现状。 　　满足星地海量数据传输需求 　　随着中