详解晶圆的划片工艺流程
文章来源:晶格半导体
原文作者:晶格半导体
本文主要介绍晶圆的划片工艺流程
在半导体制造的复杂流程中,晶圆历经前道工序完成芯片制备后,划片工艺成为将芯片从晶圆上分离的关键环节,为后续封装奠定基础。由于不同厚度的晶圆具有各异的物理特性,因此需匹配不同的切割工艺,以确保切割效果与芯片质量。
一、基于晶圆厚度的切割工艺选择
1、厚度 100um 以上的晶圆 - 刀片切割
对于厚度超过 100um 的晶圆,刀片切割(Blade dicing or blade sawing)是常用的方法。这种方法在长期的实践中展现出高效切割大量晶圆的能力,能够满足大规模生产的需求。在刀片切割过