简单认识半导体的杂质和缺陷
没有任何杂质原子和结构缺陷的半导体称为本征半导体,在这种完美的半导体中,电子要么存在于导带中,要么存在于价带中,不可能存在于导带底和价带顶之间,因为那是禁带。但当半导体中存在杂质原子或结构缺陷时,晶格势场的严格周期性被打破,因此,禁带中间有可能形成一些能级。这种杂质或缺陷可能是半导体制造工艺中无意引人的,也可能是为制造器件而有意引人的,特别是杂质。本节将讨论半导体工业中大量使用的杂质的物理性质,尤其是对半导体能带和电学性质的影响,介绍半导体中各种维度缺陷的产生及其影响。
2.4.1 杂质类型
根据杂质在半导体晶格中占据的位置,可将杂质分为替位杂质和间隙杂质。当杂质原子取代半导体原有晶